Ростех разработал сверхточные приборы для контроля качества микроэлектроники

Холдинг «Росэл» Госкорпорации Ростех разработал три новые модели зондовых станций. Эти высокоточные измерительные приборы необходимы для контроля качества и характеристик микроэлектронных компонентов. Изделия также помогут производителям строить и верифицировать математические модели элементов различных средств связи, что ускорит их изготовление и выход на рынок. 

В средствах связи и сотовой телефонии, включая аппаратуру системы «ГЛОНАСС», авиационные и автомобильные радары, сети 5G и др., широко используются сверхвысокочастотные монолитные интегральные системы (МИС). При разработке и внедрении в серийное производство новых микроэлектронных устройств чрезвычайно важно проводить зондовый контроль элементов для точного соблюдения всех технических характеристик изделий. 

Томский Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов (входит в «Росэл») разработал и уже вывел на российский рынок удобный и простой инструмент для решения подобных измерительных задач — специализированные зондовые станции. Ручная OmegaAir-150COAX и полуавтоматические Terra-200 и Terra-200T собираются и настраиваются под конкретный вид измерений и позволяют осуществлять качественное тестирование полупроводниковых приборов по постоянному току, а также в высокочастотном и сверхвысокочастотном диапазоне. 

OmegaAir-150COAX и обе станции Terra стали полноценной заменой на отечественном рынке зарубежных аналогов. Устройства не только дешевле, но и по техническим характеристикам не уступают импортным зондовым станциям. Это оборудование используют и предприятия, входящие в контур холдинга, подтверждая его эффективность и надежность», — рассказал генеральный директор холдинга «Росэл», член бюро Союза машиностроителей России Сергей Сахненко. 

Ручная станция OmegaAir-150COAX предназначена для измерений и контроля электрических величин полупроводниковых пластин в ручном режиме в лабораторных помещениях. Полуавтоматические станции Terra-200 и Terra-200T — для измерений и контроля электрических характеристик устройств на неразделенных полупроводниковых пластинах в автоматическом режиме. Модификация полуавтоматической зондовой станции Terra-200T имеет возможность измерения параметров полупроводниковых приборов в диапазоне температур от −55 °С до +150 °С. 

В комплект поставляемых зондовых станций входят: сама станция, микроскоп, манипуляторы для проведения измерений. Для полуавтоматического варианта станции также предусмотрено специальное программное обеспечение.